铝氧化表面处理加工_铝氧化表面处理加工流程

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铝氧化表面处理加工流程本发明公开了一种工件表面类金刚石涂层的可控褪镀方法,针对表面具有类金刚石涂层的工件处理,步骤包括:采用氧等离子体轰击预处理后的工件表面,完全剥离工件表层的碳物质,并将气相沉积的过渡层部分或全部转变为金属碳/氧化物的复合物;然后将氧等离子体轰击后的工件先后在碱性小发猫。

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铝氧化表面处理优缺点在衬底表面形成栅极氧化层,对栅极氧化层的上表面进行掺氮处理,并经过固化处理,以形成粘附层,粘附层具有较强的粘附性,在粘附层的表面涂覆光刻胶,从而实现将光刻胶粘附固定于栅极氧化层,避免湿法刻蚀过程中易导致光刻胶的剥离,导致最终刻蚀的图案与设定不符,同时会摧毁其它图还有呢?

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