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其生长晶体原理示意如图6所示,其主要技术特点是:将待生长的晶体原料放在耐高温的坩埚中加热熔化,然后调整炉内温度场,使熔体上部处于稍高于熔点状态;籽晶杆上安放一...
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(2)二氧化硅:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好.纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好,不出现崩点.按使用要求分为紫外、红外及可见光用.(3)氧化锆:白...
预熔不充分或蒸发电流过大易产生飞溅,造成镜片木不良.在打开档板后蒸发电流不要随意加减,易飞溅.基片须加热到高的张...
使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 磁控溅射一般分为二种:支流溅射...
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