铝钝化氧化膜成分

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(=｀′=) 第一薄膜的材料至少为氧化锌；至少一第二薄膜，层叠设置于第一介质膜背离衬底的一侧，第二薄膜包含主体材料和掺杂材料，主体材料至少为氧化锌，掺杂材料至少为铝，掺杂材料用于提升钝化层的导电性和透过率；第二介质膜，层叠设置于第一介质膜背离衬底的一侧，并且第一薄膜和第二薄膜是什么。

阿特斯3月28日晚间公告，近日，公司得知MaxeonSolar Pte.Ltd.在美国得克萨斯州东区联邦法院，对公司控股股东Canadian Solar Inc. 提起诉讼，声称CSIQ通过其关联公司直接或间接损害了Maxeon公司持有的三件应用于光伏电池的“隧穿氧化层钝化接触技术”的专利权。截至目前，CSIQ及说完了。

太阳能电池包括基底和钝化接触结构；钝化接触结构包括依次设置于基底的一个表面的第一隧穿氧化层、多晶硅掺杂导电层以及第二隧穿氧化层；其中，多晶硅掺杂导电层和第一隧穿氧化层的至少部分区域形成有多个间隔布置的孔洞，各孔洞贯穿多晶硅掺杂导电层，并延伸至第一隧穿氧化层还有呢？