铝氧化前用什么清洗液

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本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。具体地，本发明公开了氧化钒缓蚀含氟剥离液在半导体器件中对待剥离材料进行剥离和清洗中的应用，其中所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料包括下列组分：氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/说完了。

⊙ω⊙ 上海新阳半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种含氟清洗液组合物及其应用“公开号CN117625315A,申请日期为2022年8月。专利摘要显示，本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10‑30%氧化剂、0.001‑0.01%氧化型谷后面会介绍。

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